特許
J-GLOBAL ID：200903034731069309
弾性表面波装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-258112
公開番号（公開出願番号）：特開平10-107573
出願日： 1996年09月30日
公開日（公表日）： 1998年04月24日
要約：
【要約】【課題】 励振電極の保護を行うとともに、従来のような特性劣化がなく信頼性の非常に優れた弾性表面波装置を提供すること。【解決手段】 圧電基板1上に、下地層2、及び弾性表面波を発生させる励振電極3を順次積層して成る弾性表面波装置であって、下地層2は、比抵抗値σ、膜厚をhとしたときに、σ/hが109 〜1013Ωの範囲であることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
圧電基板上に、下地層、及び弾性表面波を発生させる励振電極を順次積層して成る弾性表面波装置であって、前記下地層は、比抵抗値をσ、膜厚をhとしたときに、σ/hが109 〜1013Ωの範囲の半導電性材料から成ることを特徴とする弾性表面波装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H03H 9/145 C
, H03H 9/25 Z
