特許

J-GLOBAL ID：200903034739328451

SiO2-TiO2系ガラスの製造方法、SiO2-TiO2系ガラス及び露光装置

発明者： 藤原 誠志
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 細江 利昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-107491
公開番号（公開出願番号）：特開2004-315247
出願日： 2003年04月11日
公開日（公表日）： 2004年11月11日
要約：

【課題】脈理が少ないSiO2-TiO2系ガラスとその製造方法を提供する。【解決手段】SiO2-TiO2系ガラスを製造する方法であって、SiO2粉末とTiO2粉末を所定の比率で混合して、当該混合粉末を高温で消耗しない坩堝中に充填して加熱することによりガラスを得る工程を含むことを特徴とするSiO2-TiO2系ガラスの製造方法。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

SiO2-TiO2系ガラスを製造する方法であって、SiO2粉末とTiO2粉末を所定の比率で混合して、当該混合粉末を高温で消耗しない坩堝中に充填して加熱することによりガラスを得る工程を含むことを特徴とするSiO2-TiO2系ガラスの製造方法。

IPC (5件)：

C03B5/08 ,  C03B5/43 ,  C03C3/06 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

FI (5件)：

C03B5/08 ,  C03B5/43 ,  C03C3/06 ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 515D

Fターム (59件)：

4G062AA04 ,  4G062BB01 ,  4G062DA08 ,  4G062DB01 ,  4G062DC01 ,  4G062DD01 ,  4G062DE01 ,  4G062DF01 ,  4G062EA01 ,  4G062EA10 ,  4G062EB01 ,  4G062EC01 ,  4G062ED01 ,  4G062EE01 ,  4G062EF01 ,  4G062EG01 ,  4G062FA01 ,  4G062FB03 ,  4G062FC01 ,  4G062FD01 ,  4G062FE01 ,  4G062FF01 ,  4G062FG01 ,  4G062FH01 ,  4G062FJ01 ,  4G062FK01 ,  4G062FL01 ,  4G062GA01 ,  4G062GA10 ,  4G062GB01 ,  4G062GC01 ,  4G062GD01 ,  4G062GE01 ,  4G062HH01 ,  4G062HH03 ,  4G062HH05 ,  4G062HH07 ,  4G062HH09 ,  4G062HH11 ,  4G062HH13 ,  4G062HH15 ,  4G062HH17 ,  4G062HH20 ,  4G062JJ01 ,  4G062JJ03 ,  4G062JJ05 ,  4G062JJ07 ,  4G062JJ10 ,  4G062KK01 ,  4G062KK03 ,  4G062KK05 ,  4G062KK07 ,  4G062KK10 ,  4G062MM02 ,  4G062NN30 ,  4G062NN40 ,  5F046CB12 ,  5F046CB25 ,  5F046DA12