特許
J-GLOBAL ID：200903034745375852

ガルバノミラーおよびこれを用いた光ディスク装置

発明者：
内丸 清隆

内丸 清隆 について

, 
笠原 章裕

笠原 章裕 について


出願人/特許権者：
株式会社東芝

株式会社東芝 について


代理人 (1件)： 外川 英明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-305782
公開番号（公開出願番号）：特開平9-146034
出願日： 1995年11月24日
公開日（公表日）： 1997年06月06日
要約：
【要約】【課題】従来のガルバノミラーは質量が大きく、光学ヘッドの高速シークが阻害されてしまっていた。【解決手段】本発明のガルバノミラー9 は第1のプレート21,第2のプレート22の2つのプレートが積層された構造をなしている。第1のプレート21には固定部24、揺動部25、および2枚の弾性部26a,26b からなり、シリコンを主体とする半導体の異方性エッチングにより一体生計されている。また第2のプレート22は、例えばガラス板等の電気的絶縁材料で形成され、第1のプレート21の固定部24に対して静電接合等の手段で接合されている。さらに第2プレート22上に、2枚の弾性部26a,26b を結ぶ線に対しほぼ平行に延びる櫛歯形状の電極27a,27b が形成され、これら電極27a,27b の櫛歯間については、対応する第2プレート22側に複数の凹部40が刻設されている。
請求項（抜粋）：
反射ミラーを備えた揺動体と、一端が前記揺動体に接続され、前記揺動体を揺動可能に吊設支持する一対の支持部材と、前記支持部材の他端が接続されるとともに前記揺動体と対向配置される固定部と、前記揺動体を静電力で駆動するための電極と、を有するガルバノミラーにおいて、前記揺動体と前記固定部の対向部位の少なくとも一方に、前記一対の支持部材を結ぶ直線にほぼ平行な方向に沿って凹部が延設されていることを特徴とするガルバノミラー。
IPC (2件)：
G02B 26/10 104 ,  G11B 7/09
FI (2件)：
G02B 26/10 104 Z ,  G11B 7/09 D
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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