照明装置と照明方法、および該照明装置を備えた露光装置とこれらによるデバイス製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長尾達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-123143
公開番号（公開出願番号）：特開2001-307988
出願日： 2000年04月24日
公開日（公表日）： 2001年11月02日
要約：

【要約】【課題】ランプの寿命を判断して、複数の照明用光源中の寿命が達し交換を必要とする照明用光源の光路を、予備用照明用光源の光路に切り替え、稼働率を向上させることが可能な照明装置と照明方法、および該照明装置を備えた露光装置とこれらによるデバイス製造方法を提供する。【解決手段】照明光源が予備用照明光源を含む複数の照明光源と、該複数の照明光源の光束を合成する光束合成光学系を備え、複数の照明光源における個々の光源の寿命を入力電力の変化から予測し、該予測値に基づいて予備用照明光源を点灯し、該予備用照明光源が安定状態になった後、前記寿命が達し交換を必要とする照明光源の前記光束合成光学系に入射する前の光束の光路を、前記予備用照明光源の光路に切り替えて照明する。

請求項（抜粋）：

照明光源によって被照射面を照明する照明装置において、前記照明装置が、予備用照明光源を含む複数の照明光源と、前記複数の照明光源の光束を合成する光束合成光学系と、前記光束合成光学系に入射する前の前記複数の照明光源の光束の光路を切替える光路切替手段と、前記複数の照明光源における個々の光源の寿命を入力電力の変化から測定する光源寿命測定手段と、前記光源寿命測定手段の測定値に基づいて、前記複数の照明光源中の寿命が達し交換を必要とする照明光源の光路を、予備用照明光源の光路に切り替えるように前記光路切替手段を作動させる手段と、を有することを特徴とする照明装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 521

FI (3件)：

G03F 7/20 521 , H01L 21/30 527 , H01L 21/30 515 C

Fターム (6件)：

5F046CA01 , 5F046CA02 , 5F046CB22 , 5F046DB01 , 5F046DB11 , 5F046DC02

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