特許

J-GLOBAL ID：200903034751605703

導波路型受光素子並びにその製造方法及びその駆動方法

発明者： 入川 理徳 ,  平山 祥之
出願人/特許権者： 古河電気工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-358411
公開番号（公開出願番号）：特開平6-204549
出願日： 1992年12月25日
公開日（公表日）： 1994年07月22日
要約：

【要約】【目的】 一個の素子で、10波程度の波長多重光信号から各波長ごとの光信号を同時に選択検出することができる導波路型受光素子並びにその製造方法及びその駆動方法を提供する。【構成】 半導体基板21上に形成された光吸収層25およびクラッド層23、27を有し、基板21に平行方向に形成された光の導波路構造を有する導波路型受光素子において、前記光吸収層25を多重量子井戸構造で構成し、且つ、該光吸収層25を吸収端波長が異なる複数の多重量子井戸構造を導波路の伝搬方向に形成して構成し、異なる吸収端波長を有する該光吸収層25の数と同数以上の電極29と、それらの各々の電極29と対をなす電極30を設ける。

請求項（抜粋）：

半導体基板上に形成された光吸収層およびクラッド層を有し、基板に垂直および平行方向に形成された実屈折率差または実効屈折率差により基板に平行方向に形成された光の導波路構造を有する導波路型受光素子において、前記光吸収層は多重量子井戸構造からなり、且つ、該光吸収層は吸収端波長が異なる複数の多重量子井戸構造が導波路の伝搬方向に形成されてなり、異なる吸収端波長を有する該光吸収層の数と同数以上の電極と、それらの各々の電極と対をなす同数の電極もしくは共通電極が設けられていることを特徴とする導波路型受光素子。

IPC (3件)：

H01L 31/10 ,  G02F 1/025 ,  H01L 31/108

FI (2件)：

H01L 31/10 A ,  H01L 31/10 C