特許
J-GLOBAL ID：200903034753913529
基板用カセットにおけるサイドレール及び基板用カセット
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
近藤 豊
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-125666
公開番号（公開出願番号）：特開平8-026380
出願日： 1995年04月27日
公開日（公表日）： 1996年01月30日
要約：
【要約】【目 的】形状の歪み、寸法誤差がなく、円滑に基板を出し入れできる基板用カセットにおけるサイドレール及び基板用カセットを提供することにある。【構 成】基板用カセットにおけるサイドレール1は、複数の基板を隔離して収容するため側壁面に形成したリブ22及びリブ間に形成した仕切り溝23を備えた仕切板20と、リブ22を被覆するリブ被覆部12及びリブ被覆部間に形成され仕切り溝23を被覆する溝被覆部13を備えた仕切板被覆用のカバー部材10を含んで構成され、方形状に形成した基板用カセットを構成している側壁を閉塞する。基板用カセット2は、窓部43a,43bを備えた相対向する側壁41a,41bと、側壁41a,41bを結合する端壁等の結合手段65と、側壁41a,41bの窓部43a,43bを閉塞するサイドレールを具備して構成される。
請求項（抜粋）：
方形状に形成した基板用カセットを構成している側壁を閉塞するサイドレールであって、複数の基板を隔離して収容するため側壁面に形成したリブと、該リブ間に形成した仕切り溝を備えた仕切板と、前記リブを被覆するリブ被覆部と、該リブ被覆部間に形成され前記仕切り溝を被覆する溝被覆部を備えた前記仕切板被覆用のカバー部材を含んで構成されている基板用カセットにおけるサイドレール。
IPC (4件)：
B65D 85/86
, G11B 5/84
, G11B 7/26
, H01L 21/68
