特許

J-GLOBAL ID：200903034758051290

金属酸化物薄膜形成用組成物およびβ-ジケトン金属錯体溶液の安定化方法

発明者： 中村 圭一 ,  谷 隆士 ,  植田 隆 ,  齋藤 信
出願人/特許権者： 昭和電工株式会社
代理人 (4件)： 鈴木 俊一郎 ,  牧村 浩次 ,  高畑 ちより ,  鈴木 亨
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-341768
公開番号（公開出願番号）：特開2005-179777
出願日： 2004年11月26日
公開日（公表日）： 2005年07月07日
要約：

【課題】 保存時もしくは蒸着のための気化時においてβ-ジケトン金属錯体の分解を充分に抑制することができ、蒸発残渣やパーティクル量が少ない金属酸化物薄膜形成用組成物およびβ-ジケトン金属錯体溶液の安定化方法を提供する。【解決手段】 β-ジケトン金属錯体の有機溶媒溶液に、β-ジケトンを添加することによって溶液中のβ-ジケトン金属錯体を安定化した。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

有機溶媒中に、下記式(I):

IPC (1件)：

C23C16/40

FI (1件)：

C23C16/40

Fターム (7件)：

4K030AA11 ,  4K030BA42 ,  4K030EA01 ,  5F058BA20 ,  5F058BC03 ,  5F058BF06 ,  5F058BF27

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特許第3095727号公報
  
• 特許第3054118号公報