特許
J-GLOBAL ID：200903034763634016
圧電/電歪膜型アクチュエータ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中島 三千雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-012830
公開番号（公開出願番号）：特開平7-214779
出願日： 1994年02月04日
公開日（公表日）： 1995年08月15日
要約：
【要約】【目的】 複数の加圧室が列状に並べて設けられ、各加圧室に対応して圧電/電歪作動部が設けられた圧電/電歪膜型アクチュエータにおいて、全ての素子で優れた作動特性が安定して発揮され得るようにする共に、設計を容易と為し、作製時間の短縮を図り、更には製造コストの有効な低減を図る。【構成】 複数の窓部68が列状に並べて設けられたスペーサプレート62と、閉塞プレート56と、接続プレート58を積層し、一体焼成して、窓部68にて加圧室を形成してなるセラミックス基体64と、閉塞プレート56の外面上の各加圧室に対応する位置に形成された圧電/電歪素子70とからなるアクチュエータ34において、スペーサプレート62の複数の窓部68の並び方向の両端のものに並べて、更にその外側に、それぞれ、圧電/電歪素子70が対応して設けられることのない補助窓部78を形成すると共に、これに対応する閉塞プレート56部位の外面上に、所定パターンの変位規制層60を設けた。
請求項（抜粋）：
(a)複数の窓部が列状に並べて設けられたスペーサプレートと、該スペーサプレートの一方の側に重ね合わされて前記窓部を覆蓋する閉塞プレートと、該スペーサプレートの他方の側に重ね合わされて前記窓部を覆蓋する接続プレートとを、それぞれのグリーンシートにて積層形成し、一体焼成せしめて、前記窓部にて加圧室を形成してなるセラミックス基体と、(b)前記閉塞プレートの外面上の各加圧室に対応する位置に、膜形成法によって順次形成された、下部電極、圧電/電歪層および上部電極からなる膜型の圧電/電歪作動部とからなり、該圧電/電歪作動部によって前記加圧室の壁部の一部を変形させることにより、前記加圧室に圧力を生ぜしめるようにした圧電/電歪膜型アクチュエータにおいて、前記スペーサプレートの複数の窓部の並び方向の両端のものに並べて、更にその外側に、それぞれ所定大きさの補助窓部を設け、該補助窓部にてダミーキャビティを前記セラミックス基体内に形成すると共に、それら補助窓部に対応する前記閉塞プレート部位の外面上に、所定パターンの変位規制層を、それぞれ一体的に設けたことを特徴とする圧電/電歪膜型アクチュエータ。
IPC (3件)：
B41J 2/045
, B41J 2/055
, H01L 41/09
B41J 3/04 103 A
, H01L 41/08 C
