特許
J-GLOBAL ID：200903034765910037
プローブ装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-225210
公開番号（公開出願番号）：特開平7-058167
出願日： 1993年08月18日
公開日（公表日）： 1995年03月03日
要約：
【要約】【目的】 例えば高温試験においてプローブカードのバンプとウエハWの電極パッドとを簡単に正確に位置合わせすること。【構成】 ポリイミド薄膜の表面にバンプ3を配列してプローブカード2を構成すると共に、バンプ3の配列の周囲においてX、Y方向に夫々目盛41、42を例えば露光技術を用いて形成する。常温時のプローブカード上のバンプの座標位置を予め記憶部に記憶しておき、プローブカードの熱膨張時に撮像ユニット6で目盛41、42を読み取り、その読み取り結果とバンプの座標位置とに基づいて、現時点のバンプの座標位置データを求め、これによりウエハ載置台1の位置を制御する。
請求項（抜粋）：
測定部に電気的に接続され、プローブカードに配列された接触子を被検査体載置台上の被検査体の電極パッドに接触させ、測定部により被検査体の電気的測定を行うプローブ装置において、前記プローブカードに、接触子の配列領域の周囲に沿ってX、Y方向に夫々並ぶように形成した目盛と、前記プローブカードの目盛を認識する認識手段と、を備えたことを特徴とするプローブ装置。
IPC (4件)：
H01L 21/66
, G01R 1/073
, G01R 31/26
, H01L 21/68
