特許
J-GLOBAL ID：200903034784759110
四重極質量分析装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 祐介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-245681
公開番号（公開出願番号）：特開2000-077025
出願日： 1998年08月31日
公開日（公表日）： 2000年03月14日
要約：
【要約】【課題】 広い質量範囲での測定に加えて、低質量領域についてより高感度に測定できるように改善する。【解決手段】 2つの発振回路35、36により、より低い周波数f1とより高い周波数f2のRF出力を得、これを切換器41で切り換えてRFアンプ31に送って増幅し、その切り換えに連動して切換器42、43を切り換えることにより、f1用共振回路33側またはf2用共振回路34側を選択して、真空容器10内に納められた四重極電極17に高周波電圧Vと直流電圧Uとの重畳電圧を印加する。
請求項（抜粋）：
ガス導入口を有する真空容器と、該ガス導入口から導入されたガス成分を電子衝撃によってイオン化するイオン源と、該イオンを加速または減速しかつそのビーム形状を整えるレンズと、該レンズを経てイオンが入射させられる四重極電極と、該四重極電極を通過したイオンを集めてその電流を検出する電流検出器とを備える四重極質量分析装置において、測定質量範囲の全体に対応する周波数の高周波電圧と低質量測定専用のより高い周波数の高周波電圧とのいずれかを選択して直流電圧に重畳した上で上記の四重極電極に印加する電圧印加回路を備えることを特徴とする四重極質量分析装置。
Fターム (2件)：
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