特許

J-GLOBAL ID：200903034785204058

弾性表面波装置及びその製造方法

発明者： 勝田 洋彦
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-352493
公開番号（公開出願番号）：特開平11-186866
出願日： 1997年12月22日
公開日（公表日）： 1999年07月09日
要約：

【要約】【課題】 導電性異物付着による電極ショート等の劣化が無く、圧電基板のもつ焦電性に起因する電極指間の放電による特性劣化の無い信頼性の非常に優れた弾性表面波装置を提供すること。【解決手段】 圧電基板3上に櫛歯状の励振電極4を設けて成る弾性表面波装置Sにおいて、励振電極4の電極指4a間に絶縁性または半導電性の電極指間膜6を形成し、励振電極4上及び電極指間膜6上に絶縁性または半導電性の保護膜7を形成したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

圧電基板上に櫛歯状の励振電極を設けて成る弾性表面波装置において、前記励振電極の電極指間に絶縁性または半導電性の電極指間膜を形成し、前記励振電極上及び前記電極指間膜上に絶縁性または半導電性の保護膜を形成したことを特徴とする弾性表面波装置。

IPC (2件)：

H03H 9/145 ,  H03H 3/08

FI (2件)：

H03H 9/145 C ,  H03H 3/08

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭61-117913
  
• 特開昭54-132188
  
• 弾性表面波装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-208787   出願人：株式会社日立製作所