特許
J-GLOBAL ID:200903034788241981
流体加熱装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
米原 正章 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-244994
公開番号(公開出願番号):特開平7-098153
出願日: 1993年09月30日
公開日(公表日): 1995年04月11日
要約:
【要約】【目的】 ランプヒータを用いた加熱部の各加熱容器より突出するランプ端子部を通風にて冷却して、この部分の温度上昇を抑えることができるようにする。【構成】 石英にて筒状に構成すると共に、内側に複数のランプヒータを熱源として装着した加熱容器2aを複数個接続してなる加熱部2と、この加熱部2に流体を供給する流体供給調整部3とを箱体1内に配置してなる流体加熱装置において、加熱部2のランプ端子10aが突出する方向の両側に、各ランプ端子10aの突出部を囲う通風路を構成する通風板13,13を設け、この通風板13,13の通風方向の一側方に、通風板13,13にて構成される通風路に風を通すファン14を配置した。
請求項(抜粋):
石英にて筒状に構成すると共に、内側に複数のランプヒータを熱源として装着した加熱容器2aを複数個接続してなる加熱部2と、この加熱部2に流体を供給する流体供給調整部3とを箱体1内に配置してなる流体加熱装置において、加熱部2のランプ端子10aが突出する方向の両側に、各ランプ端子10aの突出部を囲う通風路を構成する通風板13,13を設け、この通風板13,13の通風方向の一側方に、通風板13,13にて構成される通風路に風を通すファン14を配置したことを特徴とする流体加熱装置。
IPC (5件):
F24H 1/10
, B08B 3/10
, C25D 21/02
, H01L 21/304 341
, B05C 9/10
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