特許
J-GLOBAL ID：200903034795187364
研磨方法および形状可変研磨工具装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
西山 恵三
, 内尾 裕一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-326879
公開番号（公開出願番号）：特開2004-160565
出願日： 2002年11月11日
公開日（公表日）： 2004年06月10日
要約：
【課題】簡単な構成で、被加工物形状と工具面の接触状態を常に最適な状態を保ちながら研磨することができる研磨方法および形状可変研磨工具装置を提供することを目的とする。【解決手段】被加工面に接触する工具面を有する研磨部材と、大きさの異なる複数の輪帯状部材と、それぞれの輪帯状部材を工具軸方向に駆動する駆動手段とを有し、前記輪帯状部材によって前記研磨部材を所望の形状に変化させて被加工面を研磨する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
被加工面に接触する工具面を有する研磨部材と、大きさの異なる複数の輪帯状部材と、それぞれの輪帯状部材を工具軸方向に駆動する駆動手段とを有し、前記輪帯状部材を介して前記研磨部材を被加工面に対応する形状に変化させて被加工面を研磨することを特徴とする研磨方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (4件)：
3C049AA09
, 3C049AA19
, 3C049CA01
, 3C049CA03
