特許

J-GLOBAL ID：200903034797764016

露光量制御装置

発明者： 鈴木 一明
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-211246
公開番号（公開出願番号）：特開平7-066103
出願日： 1993年08月26日
公開日（公表日）： 1995年03月10日
要約：

【要約】【目的】 パルス光源を用いてスリットスキャン露光方式で露光を行う露光装置に適用した場合に、感光基板上で常に所望の露光量又は照度均一性を得る。【構成】 スリット状の照明領域の走査方向の照度分布を台形状にし、この台形状の照度分布の両側の傾斜部のウエハ上での走査方向の幅の1/2の長さをそれぞれΔD1 及びΔD2 として、これらの平均値をΔD12とする。また、その照明領域の照度分布のウエハ上での走査方向の半値幅をD、ウエハ上の各点で積算露光量を所定の精度内に制御するために必要な最小の露光パルス数をNmin とするとき、ΔD12≧D/(2Nmin ) の関係を満たす。

請求項（抜粋）：

パルス光源からのパルス光を所定の照明領域に照明し、転写用のパターンが形成されたマスク及び感光性の基板を同期して前記所定の照明領域に対して相対的に走査しつつ、前記マスクのパターンを前記基板上に逐次露光する際に、前記基板への前記パルス光の積算露光量を所定の精度内に制御するための装置において、前記所定の照明領域の走査方向の照度分布を台形状にし、該台形状の照度分布の両側の傾斜部の前記基板上での走査方向の幅の1/2の長さの平均値をΔD12、前記所定の照明領域の照度分布の前記基板上での走査方向の半値幅をD、前記基板上の各点で積算露光量を所定の精度内に制御するために必要な最小の露光パルス数をNmin とするとき、ΔD12≧D/(2Nmin )の関係を満たすことを特徴とする露光量制御装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03B 27/72 ,  G03F 7/20 521

FI (3件)：

H01L 21/30 502 G ,  H01L 21/30 515 D ,  H01L 21/30 527