特許
J-GLOBAL ID：200903034804029483
金属のエッチング方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-264720
公開番号（公開出願番号）：特開平6-116758
出願日： 1992年10月02日
公開日（公表日）： 1994年04月26日
要約：
【要約】【目的】 本発明の目的は、エッチング液組成制御に対する外乱因子を取り除くための手段を備えてなる制御装置を使用する金属のエッチング方法を提供することにある。【構成】 本発明は、エッチング液の酸化還元電気を検知し、この検知結果に基づき上記水溶液をエッチング液へ供給して予め設定された酸化還元電位を連続的に維持し、場合によっては塩化水素含量を検知し、この検知結果に基づき塩化水素を含む水溶液をエッチング液へ供給して予め設定された塩化水素濃度を連続的に維持し、比重を検知し、この検知結果に基づき水をエッチング液へ供給して予め設定された比重を連続的に維持することからなる塩化第二鉄水溶液を用いる金属のエッチング方法において、制御装置が、所定温度以下では新液及び/または水の供給を禁止する電気回路を手段を備えてなることを特徴とする金属のエッチング方法を提供することにある。
請求項（抜粋）：
塩素酸ナトリウム、塩素酸カリウム及び塩素酸カルシウムからなる群から選択される塩素酸塩1モルに対し、塩化水素6〜9モル、塩化第二鉄2.5〜30モルの割合で塩素酸塩水溶液、塩化水素水溶液、塩化第二鉄水溶液を供給するにあたり、エッチング液の酸化還元電気を検知し、この検知結果に基づき上記水溶液をエッチング液へ供給して予め設定された酸化還元電位を連続的に維持し、場合によっては塩化水素含量を検知し、この検知結果に基づき塩化水素を含む水溶液をエッチング液へ供給して予め設定された塩化水素濃度を連続的に維持し、比重を検知し、この検知結果に基づき水をエッチング液へ供給して予め設定された比重を連続的に維持することからなる塩化第二鉄水溶液を用いる金属のエッチング方法において、制御装置が、所定温度以下では新液及び/または水の供給を禁止する電気回路を手段を備えてなることを特徴とする金属のエッチング方法。
IPC (4件)：
C23F 1/46
, C23F 1/08
, C23F 1/28
, H01L 21/308
