特許
J-GLOBAL ID：200903034810563823
蒸着装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森本 義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-175012
公開番号（公開出願番号）：特開平7-034228
出願日： 1993年07月15日
公開日（公表日）： 1995年02月03日
要約：
【要約】【目的】 大型の被蒸着体の真空容器内での保持や搬入出を容易に行える。【構成】 真空容器1内で、基板2の上方に、通電により内部の蒸着材料Mを加熱溶融して上方に蒸発粒子を放出する加熱容器7を備えた上部ボート5を配置し、この上部ボート5の上方に、上部ボート5の上方を広範囲に覆う反射ボート6を配置し、この反射ボート6に通電して反射ボート6の温度を加熱容器7と同程度に加熱するように構成した【効果】 被蒸着体の上面に薄膜を形成することができる。
請求項（抜粋）：
真空容器内で、保持部材に支持された被蒸着材の上方に、通電することにより内部の蒸着材料を加熱溶融して蒸発させ上方に蒸発粒子を放出する加熱容器を備えた上部ボートを配置し、この上部ボートの上方に、加熱容器の上方を広範囲に覆う反射ボートを配置し、この反射ボートに通電して反射ボートの温度を加熱容器と同程度に加熱するように構成したことを特徴とする蒸着装置。
引用特許：
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