特許

J-GLOBAL ID：200903034838153566

弾性表面波素子及びその製造方法

発明者： 小野 富男 ,  酒井 忠司 ,  佐久間 尚志 ,  張 利 ,  舟木 英之
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 外川 英明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-291796
公開番号（公開出願番号）：特開2002-100958
出願日： 2000年09月26日
公開日（公表日）： 2002年04月05日
要約：

【要約】【課題】 ダイアモンドを伝搬媒体に用いる弾性表面波素子において、電気機械結合係数の大きな圧電材料の使用とダイアモンド研磨工程の省略を実現することで、広帯域の周波数特性を有しかつ安価な弾性表面波素子とその製造方法を提供する。【解決手段】 第1の主面と当該第1の主面に対する裏面である第2の主面とを有する圧電体層16と、圧電体層16の第1の主面に形成され、電気信号を弾性表面波に変換しまた弾性表面波を電気信号に変換する電気-機械変換電極19と、圧電体層16の第2の主面上に形成されたシリコン層12と、シリコン層12上に形成され、前記弾性表面波が伝播されるダイヤモンド層13と、当該ダイヤモンド層13と接着剤15を介して接着された支持基板14とを具備することを特徴とする弾性表面波素子。

請求項（抜粋）：

第1の主面と当該第1の主面に対する裏面である第2の主面とを有する圧電体層と、当該圧電体層の第1の主面に形成され、電気信号を弾性表面波に変換しまた弾性表面波を電気信号に変換する電気-機械変換電極と、前記圧電体層の第2の主面上に形成されたシリコン層と、当該シリコン層上に形成され、前記弾性表面波が伝播されるダイヤモンド層と、当該ダイヤモンド層と接着層を介して接着された支持基板とを具備することを特徴とする弾性表面波素子。

IPC (2件)：

H03H 9/25 ,  H03H 3/08

FI (2件)：

H03H 9/25 C ,  H03H 3/08

Fターム (11件)：

5J097AA06 ,  5J097AA19 ,  5J097AA31 ,  5J097EE08 ,  5J097FF07 ,  5J097GG01 ,  5J097GG03 ,  5J097GG04 ,  5J097GG05 ,  5J097HA03 ,  5J097KK09