特許
J-GLOBAL ID：200903034840565405

形状検査機能付きレーザ加工装置

発明者：
渡辺 裕之

渡辺 裕之 について


出願人/特許権者：
イビデン株式会社

イビデン株式会社 について


代理人 (1件)： 岡戸 昭佳 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-303719
公開番号（公開出願番号）：特開2001-121279
出願日： 1999年10月26日
公開日（公表日）： 2001年05月08日
要約：
【要約】【課題】 加工跡の形状をインラインでモニタして加工条件に反映させることができる形状検査機能付きレーザ加工装置を提供すること。【解決手段】 レーザ加工装置1は、加工対象である基板5を載置するとともに水平面内で移動可能な加工テーブル2と、レーザ加工ヘッド3と、レーザ加工ヘッド3に固定されレーザ加工ヘッド3とともに上下方向に移動可能な計測部4とを備える。そして、計測部4において基板5上に形成された穴の位置および断面形状等を検知することができる。このため、レーザ加工ヘッド3による穴加工が終了したときに、基板5を加工テーブル2から取り外すことなく、基板5上に形成された穴の断面形状を確認することができる。すなわち、加工された穴の深さをインラインで確認することができる。
請求項（抜粋）：
平板状の対象物にレーザ光を照射して加工を行うレーザ加工装置において、対象物を載置する載置テーブルと、前記載置テーブル上の対象物にレーザ加工を施すレーザ加工ヘッドと、前記載置テーブル上の対象物の表面の凹凸をモニタする凹凸モニタ手段とを有し、前記凹凸モニタ手段のモニタ結果を前記レーザ加工ヘッドの加工条件に反映させることを特徴とする形状検査機能付きレーザ加工装置。
IPC (4件)：
B23K 26/02 ,  B23K 26/00 ,  G01B 11/24 ,  H05K 3/00
FI (4件)：
B23K 26/02 C ,  B23K 26/00 P ,  H05K 3/00 N ,  G01B 11/24 A
Fターム (34件)：
2F065AA02 ,  2F065AA03 ,  2F065AA24 ,  2F065AA25 ,  2F065AA27 ,  2F065AA51 ,  2F065AA52 ,  2F065BB01 ,  2F065CC01 ,  2F065DD06 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF10 ,  2F065FF44 ,  2F065GG05 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ26 ,  2F065MM03 ,  2F065NN20 ,  2F065PP02 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ31 ,  2F065RR06 ,  2F065SS01 ,  2F065SS02 ,  2F065SS13 ,  4E068AF00 ,  4E068CA08 ,  4E068CA17 ,  4E068CB09 ,  4E068CC02
引用特許：
審査官引用 (3件)

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