圧電駆動形超音波洗浄装置

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：大塚学
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-023381
公開番号（公開出願番号）：特開平5-291227
出願日： 1992年01月14日
公開日（公表日）： 1993年11月05日
要約：

【要約】【目的】1MHz付近の高周波による圧電駆動形超音波洗浄装置の発振器から洗浄槽に接続される同軸ケーブルによる供給電力の伝送損失を軽減する。【構成】洗浄槽1の底面11に固着される複数の圧電振動子4を、極性が互いに逆になるように分極された2つの圧電素子を直列接続して1組とし、あるいは全体の圧電素子のうち正極性で分極された全体の半数を並列に接続して1ブロックとし残りの半数の負極性に分極された圧電素子を並列に接続して1ブロックとし、この2ブロックを直列接続して1組とし、振動子カバー6内に配置されたトランス5の2次側から複数組の圧電振動子4あるいはブロックにより構成された2つの圧電素子群に配線10によって接続したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

洗浄槽の底面に取り付けられた複数個の圧電振動子に超音波発振器から同軸ケーブルによって高周波電力が供給され、該圧電振動子の厚み振動によって発生する超音波振動により前記洗浄槽内の洗浄液中の被洗浄物を洗浄するための圧電駆動形超音波洗浄装置において、前記複数個の圧電振動子は、圧電振動子2個を1組とし、あるいは全体の半数ずつを並列に接続し2個のブロックとし、それぞれ互いに分極の極性が逆になるように前記洗浄槽の底面に取り付けられ電気的に直列接続されて配置され、前記複数個の圧電振動子の近傍に、前記同軸ケーブルが接続される1次巻線と前記複数組の圧電振動子を並列接続する2次巻線の巻線比がN対n(N>n)のトランスが設けられたことを特徴とする圧電駆動形超音波洗浄装置。

IPC (3件)：

H01L 21/304 341 , B06B 1/06 , B08B 3/12

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平3-037427
特開平3-222419
特開平2-097734

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