特許
J-GLOBAL ID：200903034845761342

テラヘルツ分光装置

発明者：
福島 一城

福島 一城 について


出願人/特許権者：
株式会社栃木ニコン

株式会社栃木ニコン について

, 
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 木内 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-160617
公開番号（公開出願番号）：特開2007-327897
出願日： 2006年06月09日
公開日（公表日）： 2007年12月20日
要約：
【課題】測定の信頼性を低下させることなく測定時間の短縮を図ることができるテラヘルツ分光装置を提供する。【解決手段】レーザ光源からの光パルスをポンプ光とプローブ光P3とに分割するビームスプリッタと、ビームスプリッタで分割されたポンプ光又はプローブ光P3の光路長を変えるための光路長変更光学系とを備えているテラヘルツ分光装置において、光路長変更光学系を、複数対の鏡9a,10a,9b,10bで構成し、その複数対の鏡のうちの一対の鏡9a,10aを可動とした。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
レーザ光源からの光パルスをポンプ光とプローブ光とに分割するビームスプリッタと、 固定鏡と可動鏡との対、あるいは可動鏡と可動鏡との対がそれぞれ複数対を成し、前記ビームスプリッタで分割された前記ポンプ光又は前記プローブ光の光路長を変えるための光路長変更光学系と、 前記複数対の鏡のうち前記複数対の可動鏡同士を互いに反対方向へ可動する可動部材と を備えたことを特徴とするテラヘルツ分光装置。
IPC (1件)：
G01N 21/35
FI (1件)：
G01N21/35 Z
Fターム (12件)：
2G059FF04 ,  2G059GG01 ,  2G059GG08 ,  2G059HH01 ,  2G059HH06 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ14 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK01 ,  2G059LL01 ,  2G059LL03 ,  2G059NN03
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (3件)
  • 分光装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-379687   出願人：株式会社栃木ニコン, 株式会社ニコン
  • 歪み検出装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-036206   出願人：株式会社トキメック
  • 光路長制御装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-155314   出願人：キヤノン株式会社

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