特許

J-GLOBAL ID：200903034853536072

光学式表面粗度計

発明者： 玉木 輝幸 ,  大門 正博 ,  俵口 隆雄
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社
代理人 (1件)： 半田 昌男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-107614
公開番号（公開出願番号）：特開平7-294231
出願日： 1994年04月22日
公開日（公表日）： 1995年11月10日
要約：

【要約】【目的】 焦点誤差検出光学系を用いた表面粗度や表面形状の非接触測定において、測定範囲および分解能を簡単にかつ任意に選択することが可能である光学式表面粗度計を提供する。【構成】 焦点誤差検出光学系を用いた表面粗度や表面形状を非接触で測定する光学式表面粗度計の、計測光を被測定対象に集光するための対物レンズの実効的な開口数(N.A.)を調整する機構を設け、対物レンズの実効的な開口数(N.A.)を調整することにより、被測定対象の表面の凹凸の大きさに合わせた測定範囲および分解能を簡単にかつ任意に選択することが可能になる。

請求項（抜粋）：

焦点誤差検出光学系を用いた表面粗度や表面形状を非接触で測定する光学式表面粗度計において、計測光を被測定対象に集光するための対物レンズの実効的な開口数(N.A.)を調整する機構を備えたことを特徴とする光学式表面粗度計。