特許

J-GLOBAL ID：200903034862108903

摺動部品及びその製造方法

発明者： 諸貫 正樹 ,  阿部 晃 ,  角屋 聡
出願人/特許権者： 株式会社リケン
代理人 (1件)： 村井 卓雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-127144
公開番号（公開出願番号）：特開2000-319784
出願日： 1999年05月07日
公開日（公表日）： 2000年11月21日
要約：

【要約】【課題】 ダイヤモンドライクカーボン膜の基板との密着性を高める。【解決手段】 金属母材1表面に、炭素を含むガスをイオン化させ、カーボンイオン注入層2を形成させ、その後炭素及び珪素を含むプラズマガスを用いてダイヤモンドライクカーボン膜3を形成する。

請求項（抜粋）：

表面にカーボンイオン注入層を有する金属母材と、前記カーボンイオン注入層上に、炭素と珪素を含むプラズマガスより形成されたダイヤモンドライクカーボン膜とからなることを特徴とする摺動部品。

IPC (6件)：

C23C 16/27 ,  C23C 8/36 ,  C23C 14/48 ,  C23C 28/04 ,  C30B 29/04 ,  F16J 9/26

FI (8件)：

C23C 16/27 ,  C23C 8/36 ,  C23C 14/48 Z ,  C23C 28/04 ,  C30B 29/04 B ,  C30B 29/04 Q ,  C30B 29/04 R ,  F16J 9/26 C

Fターム (40件)：

3J044AA18 ,  3J044BB27 ,  3J044BB35 ,  3J044BB40 ,  3J044CB02 ,  3J044CB40 ,  3J044DA09 ,  3J044DA10 ,  3J044DA14 ,  3J044DA16 ,  4G077AA03 ,  4G077BA03 ,  4G077DB09 ,  4G077DB16 ,  4G077EE08 ,  4G077TA04 ,  4G077TB05 ,  4G077TB07 ,  4G077TC01 ,  4G077TK02 ,  4K028BA03 ,  4K028BA21 ,  4K029AA02 ,  4K029BA34 ,  4K029BD04 ,  4K029CA10 ,  4K029EA09 ,  4K030AA06 ,  4K030BA28 ,  4K030CA02 ,  4K030FA01 ,  4K030JA11 ,  4K030JA17 ,  4K030LA23 ,  4K044AA01 ,  4K044BA18 ,  4K044BB03 ,  4K044BB17 ,  4K044CA12 ,  4K044CA14