特許

J-GLOBAL ID：200903034873355554

光ディスク用スタンパの製造方法

発明者： 佐藤 和洋 ,  濱口 敏明 ,  川崎 実
出願人/特許権者： 日本ビクター株式会社
代理人 (1件)： 二瓶 正敬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-235409
公開番号（公開出願番号）：特開平6-060441
出願日： 1992年08月11日
公開日（公表日）： 1994年03月04日
要約：

【要約】【目的】 湿式工程を必要とせず、耐久性に優れ、寿命の長い光ディスク用スタンパの製造方法を提供する。【構成】 基板上に、第1の薄膜を形成し、この第1の薄膜上に相変化によりエッチングレート差を生じる物質よりなる、前記第1の薄膜とは除去条件の異なる第2の薄膜を形成し、第2の薄膜にパターンを形成した後、そのパターンをマスクとして第1の薄膜をエッチングし、次に、第1の薄膜に形成されたパターンをマスクとして基板をエッチングするとともに、第1および第2の薄膜を除去する工程を有する光ディスク用スタンパの製造方法。

請求項（抜粋）：

基板上に、第1の薄膜を形成し、前記第1の薄膜上に相変化によりエッチングレート差を生じる物質よりなり、前記第1の薄膜とは除去条件の異なる第2の薄膜を形成し、第2の薄膜にパターンを形成した後、前記パターンをマスクとして第1の薄膜をエッチングし、次に、前記第1の薄膜に形成されたパターンをマスクとして前記基板をエッチングするとともに、前記第1および第2の薄膜を除去する工程を有する光ディスク用スタンパの製造方法。