特許
J-GLOBAL ID:200903034877491045

表示装置用電極板

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 上田 章三
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-194690
公開番号(公開出願番号):特開平8-043840
出願日: 1994年07月27日
公開日(公表日): 1996年02月16日
要約:
【要約】【目的】 高品質で広い画面のディスプレイに好適に利用される薄膜でしかも高い導電性を有する透明電極を備えた表示装置用電極板を提供すること。【構成】 この表示装置用電極板は、ガラス基板11と、この上に酸化インジウムを主成分としこの酸化インジウム中にドーパントとして10重量%の酸化錫が添加されたキャリア高濃度薄膜12a及び12cと酸化インジウムを主成分としこの酸化インジウム中にドーパントとして0.3重量%の酸化錫が添加されたキャリア高移動度薄膜12bが互いに隣接して積層された3層膜から成る透明電極12とでその主要部が構成されている。そして、この透明電極12においては上記3層膜が相互に作用し合うため全体としてその比抵抗及び面積抵抗を減少させることが可能になり、この結果、薄膜にも拘らず高い導電性が得られる。
請求項(抜粋):
透明導電膜により構成された透明電極を基板上に備える表示装置用電極板において、上記透明導電膜が、互いに隣接して積層されたキャリア移動度の高いキャリア高移動度薄膜とキャリア濃度の高いキャリア高濃度薄膜の二層膜若しくは多層膜により構成されていることを特徴とする表示装置用電極板。
IPC (3件):
G02F 1/1343 ,  H01B 5/14 ,  H01L 21/28

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