特許
J-GLOBAL ID：200903034877995442
固体電解質酸素濃度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-040147
公開番号（公開出願番号）：特開平6-249822
出願日： 1993年03月01日
公開日（公表日）： 1994年09月09日
要約：
【要約】【目的】 固定電解質薄膜の膜厚を目的に応じて薄くしても強度の落ちない固体電解質酸素濃度センサを提供することにある。【構成】 p型シリコン単結晶基板1の中央部には補強用薄肉部11が設けられ、この補強用薄肉部11には多数の気体透過孔10が形成され、同補強用薄肉部11は気体透過性を有している。そして、その補強用薄肉部11上に、下部電極膜5と固体電解質薄膜6と上部電極膜7とを順に積層した積層体41が配置されている。よって、この積層体41は補強用薄肉部11にて補強された構造となっている。
請求項（抜粋）：
基板の一部に気体透過性の補強用薄肉部を形成するとともに、その補強用薄肉部上に、固体電解質薄膜を電極膜にて挟み込んだ積層体を配置し、補強用薄肉部にて前記積層体を補強したことを特徴とする固体電解質酸素濃度センサ。
FI (3件)：
G01N 27/46 325 E
, G01N 27/46 325 H
, G01N 27/46 325 J
