特許

J-GLOBAL ID：200903034882988969

ポリイミド前駆体組成物およびその製造方法

発明者： 富川 真佐夫 ,  石川 義博
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-144845
公開番号（公開出願番号）：特開2000-063519
出願日： 1999年05月25日
公開日（公表日）： 2000年02月29日
要約：

【要約】【課題】フッ化水素酸と硝酸の混合溶液などのエッチング液耐性が良好なポリイミド前駆体組成物を提供する。【解決手段】(1)ポリアミド酸と、(2)テトラカルボン酸二無水物とアミノアルコキシシランとの反応生成物から主としてなることを特徴としたポリイミド前駆体組成物。

請求項（抜粋）：

(1)ポリアミド酸と、(2)テトラカルボン酸二無水物とアミノアルコキシシランとの反応生成物から主としてなることを特徴としたポリイミド前駆体組成物。

IPC (6件)：

C08G 73/10 ,  C08F 2/50 ,  C08F290/14 ,  C08F299/02 ,  C08L 79/08 ,  H01L 21/312

FI (6件)：

C08G 73/10 ,  C08F 2/50 ,  C08F290/14 ,  C08F299/02 ,  C08L 79/08 A ,  H01L 21/312 B