特許

J-GLOBAL ID：200903034885264325

3次元形状測定装置及びそれを用いた3次元形状測定方法

発明者： 宮崎 恭一 ,  須田 繁幸 ,  吉井 実
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-164227
公開番号（公開出願番号）：特開平5-332735
出願日： 1992年05月29日
公開日（公表日）： 1993年12月14日
要約：

【要約】【目的】 被測定物の3次元形状を高精度に測定することができる3次元形状測定装置及びそれを用いた3次元形状測定方法を得ること。【構成】 ケーシング内の投光手段からの光束を測定物に投射し、該測定物からの反射光束を利用して該光プローブの所定面から該測定物までの距離を検出する合焦状態判別光学系と概測定物からの反射光束を利用して該測定物への光束の入射面の傾きを検出する傾斜角測定光学系とを有し、双方の光学系で得られる信号を利用して該測定物の3次元形状を求める際、該合焦状態判別光学系は該傾斜角測定光学系で得られる信号に基づいて合焦情報を補正する補正手段を有していること。

請求項（抜粋）：

光プローブ内の投光手段からの光束を被測定物に投射し、該被測定物からの反射光束を第1受光手段で受光し、該第1受光手段からの信号を利用して該光プローブの所定面から該被測定物までの距離を検出する合焦状態判別系と、該被測定物からの反射光束を第2受光手段で受光し、該第2受光手段からの信号を利用して該投光手段からの光束の該被測定物への入射面の傾きを検出する傾斜角測定系とを有し、該合焦状態判別系と傾斜角測定系で得られる信号を利用して該被測定物の3次元形状を求める際、該合焦状態判別系は該傾斜角測定系で得られる信号に基づいて合焦情報を補正する補正手段を有していることを特徴とする3次元形状測定装置。