特許
J-GLOBAL ID：200903034889103288
密閉式洗浄装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-125137
公開番号（公開出願番号）：特開平6-314678
出願日： 1993年04月28日
公開日（公表日）： 1994年11月08日
要約：
【要約】【目的】 密閉式洗浄装置内部を減圧し,効率よく負圧維持する。【構成】 容器の扉が閉止時,扉の接する本体側外周部分に溝状に減圧室を設ける。この減圧室内を真空ポンプで減圧することによりOリングを介した扉を本体に密着させる。これにより,容器本体の内部を別途減圧することにより,扉部分からの空気流入を防ぐ。
請求項（抜粋）：
密閉式洗浄装置に於いて,洗浄物を出し入れするための扉を有する本体装置の開口部の全周に真空排気装置に接続した小容積の溝状減圧室を設け,前記扉と当該減圧室で構成される空間を減圧状態にすることで扉を密着し開口部に接続する空間を密閉するようにした密閉式洗浄装置。
IPC (2件)：
H01L 21/304 341
, F16J 12/00
