特許
J-GLOBAL ID:200903034900330330

集積非直線導波路型分光計

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 岡部 正夫 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-105780
公開番号(公開出願番号):特開平6-034437
出願日: 1993年05月07日
公開日(公表日): 1994年02月08日
要約:
【要約】【目的】 本発明は、ポリイミド導波路フォーカス反射鏡を備えた非直線パラメトリック導波路型分光計の集積化に関する。【構成】 導波路分光計は、回折格子の作用をシミュレートして必要とされる色分散を発生させるために、非直線逆伝播χ2 相互作用を用いる。近視野乃至遠視野をマップして種々の波長成分を分離するために、有機体-誘電体(例えばポリイミド/SiO2)導波路及び45°RIEエッチングされた反射鏡は、凹面フォーカス集積反射鏡をシミュレートするために組み立てられた。反射鏡の焦平面で測定されたスポットサイズは、理論的予言に従って約1.6 のスペクトル分解能に相当する約0.7μmになる。この集積装置は、低信号出力レベルに対してさえも可視出力の利点を受けることができかつ高出力変換効率を必要としない応用に用いることができる。
請求項(抜粋):
非直線パラメトリック導波路型分光計と、該非直線導波路の上に横断的に位置決めされた、細長い有機体-誘電体導波路とを基板上に含む集積光学装置であって、前記非直線導波路は、その隆起ガイドの中央部分の形状が予め選択された曲率半径を有する円形弓形を形成しており、前記隆起ガイドは、各組における1つの層の構成が当該組の別の層の構成と異なる、複数組の複合半導体層からなる多周期構造を有し、前記有機体-誘電体導波路は、薄い誘電体層に載せた、有機体材料からなる細長い平板の形状になっており、有機体材料より低い屈折率を有する誘電体層は、有機体材料に対して底部クラッド層として作用し、前記有機体材料の平板は両端部分に45度反射鏡を有し、各反射鏡は、隆起ガイドと同じ曲率半径を有する円形弓形により限定され、一方の反射鏡は、前記円形弓形上に載せられると共に前記隆起ガイドから放射する可視放射線の進路を横切っており、その結果前記放射線は、有機体材料からなる平板内にそらされ、平板の反対側の端部ある反射鏡にぶつかった後、その反射鏡の焦平面から屈折することを特徴とする集積光学装置。

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