特許
J-GLOBAL ID：200903034900904352
タツチ信号プローブ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木下 実三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-274779
公開番号（公開出願番号）：特開平5-087551
出願日： 1991年09月25日
公開日（公表日）： 1993年04月06日
要約：
【要約】【目的】 測定力の大きさをX-Y方向とZ方向とで同じまたはほぼ同じにできるタッチ信号プローブを提供する。【構成】 スタイラスを取り付けたスタイラス取付軸2を第1、第2板ばね8,10でX-Y方向、Z方向に変位可能に保持し、板ばね8,10間のダンパ用粘性液19が充填された密閉隙間S内にダンパ用羽根板9を収納し、この羽根板9の中心部分を板ばね8,10に接触する厚肉部9Aとする。
請求項（抜粋）：
被測定物に接触するスタイラスと、このスタイラスが取り付けられたスタイラス取付軸と、このスタイラス取付軸と対向配置され、前記被測定物への前記スタイラスの接触によるこのスタイラス取付軸の変位を検出するセンサと、前記スタイラス取付軸に直交結合されてこのスタイラス取付軸を変位可能に保持し、かつ、前記スタイラス取付軸の軸方向に密閉隙間を開けて2枚設けられた板ばねと、ダンパ用粘性液が充填された前記密閉隙間内に前記スタイラス取付軸に直交結合されて収容され、かつ、このスタイラス取付軸が挿通された中心部分が前記2枚の板ばねと接触する厚肉部となっているダンパ用羽根板とを有することを特徴とするタッチ信号プローブ。
IPC (3件)：
G01B 21/00
, G01B 5/00
, G01B 7/00
