特許
J-GLOBAL ID：200903034906180763
耐プラズマ性部材及びその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
松山 允之
, 日向寺 雅彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-159233
公開番号（公開出願番号）：特開2004-002101
出願日： 2002年05月31日
公開日（公表日）： 2004年01月08日
要約：
【課題】プラズマに対する耐食性の向上を図り、半導体または液晶製造のためのドライブラセス装置に用いられるチヤンバー、チヤンパーライナー、シャワープレート、バツフル板、電極等の部材に好適に用いることができる耐プラズマ性部材を提供する。【解決手段】アルミニウム、ステンレスまたは窒化アルミニウムからなる基材表面に形成されるイットリア膜との圧縮応力が略零になるようにした耐プラズマ性部材である。このような耐プラズマ性部材は、基材上に、イットリアなどのセラミック材料層を爆発溶射、水安定化溶射などの方法により製膜した後、表面層の耐プラズマ製材量薄膜層を形成することによって作成することができる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
アルミニウム、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、またはステンレス鋼からなる基材の表面に、該基材表面に形成される中間層と、該中間層表面に形成される耐プラズマ性材料薄膜層の少なくとも2層を形成した耐プラズマ性部材において、
100°Cから500°Cの温度範囲において、該中間層及び該薄膜層の残留応力が略零になるように積層されていることを特徴とする耐プラズマ性部材。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (19件)：
4K030KA30
, 4K030KA46
, 4K044AA03
, 4K044AA06
, 4K044AA13
, 4K044AB02
, 4K044AB03
, 4K044AB10
, 4K044BA12
, 4K044BB03
, 4K044BC02
, 4K044CA11
, 4K044CA41
, 4K044CA57
, 5F045AA08
, 5F045BB15
, 5F045DP03
, 5F045DQ10
, 5F045EK08
