特許
J-GLOBAL ID：200903034906648510
プラズマに供給されるRF電流を感知する装置及びこのような装置に使用する波形サンプリング回路
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 稔 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-068190
公開番号（公開出願番号）：特開平11-008095
出願日： 1998年03月18日
公開日（公表日）： 1999年01月12日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 漂遊磁束による問題を解消又は軽減する。【解決手段】 本装置はプラズマに電流を供給するRF導体30を備え、導体は長さの一部分に沿って2つの部分30a,30bに分割し、各部分に実質的に等しい電流が流れるようにする。2つの部分間のギャップ32にはセンサデバイス44を挿入し、ギャップの各側に1つづつ配置した第1、第2の誘導性ループL1、L2を備え、RF導体にRF電流が流れるときに発生する磁束は、センサデバイスに対して各々逆方向にループに結合する。電流方向に直角な漂遊磁束がセンサデバイスに対して同じ方向にループに結合する場合には、RF電流により一方のループに誘起された電圧に加えられ、他方のループに誘起された電圧から差し引かれるような電圧をループに誘起する。ループを直列に接続することにより、漂遊磁束で誘起される電圧は、打ち消される傾向となる。
請求項（抜粋）：
プラズマに供給されるRF電流を感知する装置において、プラズマに電流を供給するRF導体を備え、このRF導体は、その長さの一部分に沿って2つの部分に分割され、各部分には実質的に等しい電流が流れるようにされ、更に、この導体の2つの部分間のギャップに挿入されるセンサデバイスを備え、このセンサデバイスは、上記ギャップの各側に1つづつ配置された第1及び第2の誘導性ループを含み、RF導体に沿ってRF電流が流れるときには、そのRF電流により発生される導体の周りの磁束がセンサデバイスに対して各々逆方向にループに結合し、これにより、電流方向に直角で、センサデバイスに対して同じ方向にループに結合する漂遊磁束は、RF電流により一方のループに誘起された電圧に加えられると共に、RF電流により他方のループの誘起された電圧から差し引かれる電圧を各々ループに誘起することを特徴とする装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H05H 1/46 L
, H05H 1/46 R
, H05H 1/00 Z
