特許
J-GLOBAL ID：200903034918916277

塗布方法及び塗布装置

発明者：
松下 正直

松下 正直 について


出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社

大日本スクリーン製造株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-243015
公開番号（公開出願番号）：特開2001-062379
出願日： 1999年08月30日
公開日（公表日）： 2001年03月13日
要約：
【要約】【課題】 噴霧塗布に先立って噴霧する溶媒の吐出量を、常にその配管内の液面を一定位置に規定することにより塗布毎に均一にする。【解決手段】液体である溶媒と気体とを同時に供給してスプレイノズル17の先端部で混合して被処理基板Wに噴霧塗布する塗布装置において、溶媒噴霧塗布を行う直前にてスプレイガン17aに気体供給系7から所定時間気体のみを供給するよう制御する。そのため、スプレイノズル17の液体供給系8と気体供給系7が合流する混合部位の下流側で気体により残留する溶媒が吹き飛ばされる。よって、噴霧塗布における溶媒下流端液面は常に混合部位に位置することとなり、溶媒の吐出量が一定となる。
請求項（抜粋）：
液体と気体とを同時に供給してスプレイノズルの先端部で混合して、被処理基板に噴霧塗布する塗布方法であって、噴霧塗布工程の直前に気体のみを所定時間供給する工程を経て、被処理基板への噴霧塗布工程を行う、ことを特徴とする塗布方法。
IPC (5件)：
B05D 1/40 ,  B05B 7/32 ,  B05C 11/08 ,  H01L 21/027 ,  G03F 7/16 502
FI (5件)：
B05D 1/40 A ,  B05B 7/32 ,  B05C 11/08 ,  G03F 7/16 502 ,  H01L 21/30 564 Z
Fターム (18件)：
2H025AB16 ,  2H025EA05 ,  4D075AC64 ,  4D075AC84 ,  4D075DC22 ,  4D075EA45 ,  4F033AA01 ,  4F033QB02X ,  4F033QB03Y ,  4F033QB12X ,  4F033QB13X ,  4F033QD03 ,  4F033QD14 ,  4F042AA07 ,  4F042EB18 ,  4F042EB25 ,  5F046JA02 ,  5F046JA04
引用特許：
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (2件)

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