レーザ超音波検査装置及びレーザ超音波検査方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：半田昌男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-316792
公開番号（公開出願番号）：特開2003-121423
出願日： 2001年10月15日
公開日（公表日）： 2003年04月23日
要約：

【要約】【課題】振動等の外乱が加わっても、常に安定した且つ高感度な超音波計測を行うことができるレーザ超音波検査装置及びレーザ超音波検査方法を提供する。【解決手段】ファブリ・ペロー干渉計40は、共振器を構成する二つの反射ミラー41a,41bを有し、その共振器の共振特性を利用して、超音波のエコーに起因して生じる第二レーザビームL2の周波数の変化を検出する。ピエゾ素子42は一方の反射ミラー41bの位置を調整する。ファンクションジェネレータ80は、所定波形の電圧を発生すると共に、その電圧を超音波検出用レーザ20に送出することにより第二レーザビームL2の発振周波数を周期的に変化させる。変換回路90は、かかる電圧に所定の変換を施して得られた信号をピエゾ素子42に送出することにより、干渉計40の共振曲線動作点における周波数を第二レーザビームL2の発振周波数に常時一致させる。

請求項（抜粋）：

検査対象物に超音波を発生させるための第一レーザビームを発生する第一レーザ装置と、検査対象物内部を伝播した前記超音波のエコーを検出するための第二レーザビームを発生する第二レーザ装置と、互いに対向する二つの反射鏡を有し、検査対象物で反射された前記第二レーザビームを前記二つの反射鏡の間で多重反射させることにより、前記超音波のエコーに起因して生じる前記第二レーザビームの周波数の変化を検出するファブリ・ペロー干渉計とを備え、前記ファブリ・ペロー干渉計による検出結果に基づいて検査対象物内部の欠陥を検出するレーザ超音波検査装置において、所定の信号に基づいて少なくとも一方の前記反射鏡の位置を調整することにより前記二つの反射鏡間の距離を変化させる位置調整手段と、所定の波形の制御信号を発生すると共に、前記制御信号を前記第二レーザ装置に送出することにより前記第二レーザビームの発振周波数を周期的に変化させる信号発生手段と、前記信号発生手段から送出された前記制御信号に所定の変換を施し、その変換された信号を前記位置調整手段に送出することにより前記ファブリ・ペロー干渉計の共振曲線動作点における光周波数を前記第二レーザビームの発振周波数に常時一致させる変換手段と、を具備することを特徴とするレーザ超音波検査装置。

Fターム (6件)：

2G047BC07 , 2G047CA04 , 2G047EA05 , 2G047EA11 , 2G047GD01 , 2G047GF06

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