特許
J-GLOBAL ID:200903034922791179

封着型シリカ被着用ノズル混合バ-ナ-

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 柳田 征史 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-225726
公開番号(公開出願番号):特開2000-063127
出願日: 1999年08月09日
公開日(公表日): 2000年02月29日
要約:
【要約】【課題】 石英ガラスブール製造用バーナーの前面へのスート堆積を低減し、動作の安全性及び冷却効率を高め、石英ガラスブールの品質安定化をはかる。【解決手段】 多重複合円筒管(301〜306)構成のバーナーを採用し、ある円筒管(305,301)にはバーナー内のある流路(206,202)の断面積を制限し、及び/またはOMCTSのようなケイ素含有液体原材料を噴霧化するために用いられるフラットをつける。フラッシュバックを避けるためバーナーは独立した燃料用(205)及び酸素用(204,206)流路を有し、ノズル混合を採用する。炉内への大気吸込を防ぐためにバーナーは炉のクラウンに設けられたバーナー孔に封着される。バーナー温度が規定上限、例えば400°Cをこえないように外部空冷ジャケットを用いることができる。
請求項(抜粋):
ケイ素含有原材料、燃料、酸素、及び必要に応じての不活性ガスを含む複数の原材料からシリカスートを生成するための、バーナー面及び原材料の流れを前記バーナー面に通すための複数の流路を定める多重複合円筒管構成を有するバーナーにおいて、前記バーナーが:(a) 第1の酸素及び前記ケイ素含有原材料を前記バーナーに供給し、第1の円筒管により定まる第1の流路に接続されている第1の取込ポート、ここで前記第1の流路は、前記第1の取込ポートから前記バーナー面に向かって伸びている;(b) 第2の酸素及び前記ケイ素含有原材料を前記バーナーに供給し、前記第1の円筒管及び第2の円筒管により定まる第2の流路に接続されている第2の取込ポート、ここで前記第2の流路は、前記第2の取込ポートから前記バーナー面に向かって伸びている;(c) 第3の酸素あるいは不活性ガスを前記バーナーに供給し、前記第2の円筒管及び第3の円筒管により定まる第3の流路に接続されている第3の取込ポート、ここで前記第3の流路は、前記第3の取込ポートから前記バーナー面に向かって伸びている;(d) 第4の酸素を前記バーナーに供給し、前記第3の円筒管及び第4の円筒管により定まる第4の流路に接続されている第4の取込ポート、ここで前記第4の流路は、前記第4の取込ポートから前記バーナー面に向かって伸びている;(e) 燃料を前記バーナーに供給し、前記第4の円筒管及び第5の円筒管により定まる第5の流路に接続されている第5の取込ポート、ここで前記第5の流路は、前記第5の取込ポートから前記バーナー面に向かって伸びている;(f) 第5の酸素を前記バーナーに供給し、前記第5の円筒管及び第6の円筒管により定まる第6の流路に接続されている第6の取込ポート、ここで前記第6の流路は、前記第6の取込ポートから前記バーナー面に向かって伸びている;を含み、前記第6の円筒管は前記第5の円筒管を取り囲み、前記第5の円筒管は前記第4の円筒管を取り囲み、前記第4の円筒管は前記第3の円筒管を取り囲み、前記第3の円筒管は前記第2の円筒管を取り囲み、前記第2の円筒管は前記第1の円筒管を取り囲んでいることを特徴とするバーナー。
IPC (3件):
C03B 8/04 ,  F23D 14/56 ,  F23D 23/00
FI (3件):
C03B 8/04 G ,  F23D 14/56 Z ,  F23D 23/00

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