特許

J-GLOBAL ID：200903034930271982

動圧気体軸受

発明者： 清水 保 ,  長田 誠一
出願人/特許権者： 大同特殊鋼株式会社
代理人 (1件)： 乾 昌雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-157497
公開番号（公開出願番号）：特開2000-346059
出願日： 1999年06月04日
公開日（公表日）： 2000年12月12日
要約：

【要約】【課題】 摺動摩擦抵抗が低く耐摩耗性および耐久性がすぐれ、高速回転用に好適に使用できるとともに、動圧発生溝の加工が容易である動圧気体軸受を提供する。【解決手段】 滑り軸受の相対向する各摺動面部に、反応性イオンエッチングによりガス化処理できる硬質膜を被着し、一方の摺動面部に被着した硬質膜7に、反応性イオンエッチングにより動圧発生溝5を形成した。

請求項（抜粋）：

滑り軸受の相対向する摺動面部のうちの一方の摺動面部に、反応性イオンエッチングによりガス化処理できる硬質膜を被着し、この硬質膜に反応性イオンエッチングにより動圧発生溝を形成したことを特徴とする動圧気体軸受。

IPC (2件)：

F16C 17/10 ,  F16C 33/24

FI (3件)：

F16C 17/10 A ,  F16C 33/24 A ,  F16C 33/24 Z

Fターム (11件)：

3J011AA04 ,  3J011BA02 ,  3J011BA08 ,  3J011BA09 ,  3J011CA03 ,  3J011CA05 ,  3J011DA02 ,  3J011QA02 ,  3J011SD02 ,  3J011SD04 ,  3J011SD10