特許

J-GLOBAL ID：200903034931138763

真空機器用転がり軸受

発明者： 近藤 博光 ,  石丸 路芳
出願人/特許権者： エヌティエヌ株式会社
代理人 (1件)： 江原 省吾 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-240887
公開番号（公開出願番号）：特開平7-091449
出願日： 1993年09月28日
公開日（公表日）： 1995年04月04日
要約：

【要約】【目的】 真空雰囲気中において、耐熱性と導電性とを同時に備えた転がり軸受を提供する。【構成】 内輪1および外輪2は鉄系材料例えばSUS440C材に耐熱処理を施した材料、保持器4は金属材例えばSUS304材で形成されている。複数のボール3のうち、半数は軸受荷重を負荷する負荷ボール31、残りの半数は負荷ボール31よりも僅かに小径で、軸受荷重を負荷しない非負荷ボール32であり、負荷ボール31と非負荷ボール32とが交互に配されている。負荷ボール31はセラミック材からなるもの、非負荷ボール32はSUS440C材からなる金属製ボール32aの表面に銀被膜32bを形成したものである。外輪2が側方に配置されたバネ5によって軸方向に押圧され、軸受に予圧が付与されている。

請求項（抜粋）：

鉄系材料からなる内輪および外輪と、内輪および外輪の軌道面間に介在し、軸受荷重を負荷する複数のセラミック製の負荷転動体と、軸受荷重を負荷しない複数の金属製の非負荷転動体と、負荷転動体および非負荷転動体を保持する金属製の保持器とを備えたものであって、負荷転動体の軌道と非負荷転動体の軌道とを強制的に異ならせたことを特徴とする真空機器用転がり軸受。