特許

J-GLOBAL ID：200903034934667171

荷電粒子線光学系

発明者： 清水 弘泰
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-023430
公開番号（公開出願番号）：特開平11-224635
出願日： 1998年02月04日
公開日（公表日）： 1999年08月17日
要約：

【要約】【課題】 鏡筒の大型化を避けつつ色収差やクーロンボケを低減することができる荷電粒子線光学系の提供。【解決手段】 静電レンズ6の最終段の電極63の電圧をウェハ3の電圧とほぼ同一とすることによって、色収差やクーロンボケを低減しつつ鏡筒の大型化を抑えることができる。さらに、電極63とウェハ3との間に静電非点補正器や静電焦点補正器などの補正器を少なくとも1つ設けることによって、さらに低収差とすることができる。また、電極63とウェハ3との間に静電偏向系を設けることにより、偏向電圧の低電圧化を図ることができ、より高速な偏向動作を行うことが可能となる。

請求項（抜粋）：

少なくとも1つの静電レンズからなり、荷電粒子線を高速に加速した後にその荷電粒子線が照射される被照射部において荷電粒子線を減速する荷電粒子線光学系であって、前記被照射部に最も近い静電レンズの最終段の電極の電圧を、前記被照射部の電圧とほぼ同一としたことを特徴とする荷電粒子線光学系。

IPC (4件)：

H01J 37/147 ,  G03F 7/20 504 ,  H01J 37/153 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

H01J 37/147 C ,  G03F 7/20 504 ,  H01J 37/153 Z ,  H01L 21/30 541 A ,  H01L 21/30 541 B