特許
J-GLOBAL ID:200903034949337313
磁性薄膜多層電極、高周波伝送線路、高周波共振器及び高周波デバイス
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
青山 葆 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-239512
公開番号(公開出願番号):特開平11-088015
出願日: 1997年09月04日
公開日(公表日): 1999年03月30日
要約:
【要約】【課題】 作製した後に電気特性の調整が可能な磁性薄膜多層電極及びそれを用いた種々の高周波共振器、高周波伝送線路、高周波デバイスを提供する。【解決手段】 誘電体基板上に、薄膜導体と薄膜絶縁体膜とが交互に積層されてなり、所定の使用周波数において、上記誘電体基板に生じる電磁界の位相と上記各薄膜絶縁膜に生じる電磁界の位相とが互いに実質的に一致するように構成された薄膜多層電極であって、上記薄膜導体と上記薄膜絶縁体膜のうちの少なくとも一方を磁性材料で構成する。
請求項(抜粋):
誘電体基板上に、薄膜導体と薄膜絶縁体膜とが交互に積層されてなり、所定の使用周波数において、上記誘電体基板に生じる電磁界の位相と上記各薄膜絶縁膜に生じる電磁界の位相とが互いに実質的に一致するように構成された薄膜多層電極であって、上記薄膜導体と上記薄膜絶縁体膜のうちの少なくとも一方は磁性材料であることを特徴とする磁性薄膜多層電極。
IPC (4件):
H01P 3/18
, H01P 3/08
, H01P 7/00
, H01P 7/08
FI (4件):
H01P 3/18
, H01P 3/08
, H01P 7/00 B
, H01P 7/08
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