基板型光導波路デバイスおよびその製造方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀正武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-243373
公開番号（公開出願番号）：特開平7-104144
出願日： 1993年09月29日
公開日（公表日）： 1995年04月21日
要約：

【要約】【目的】安定した温度特性を有し、信頼性の良好な基板型光導波路デバイスおよびその製造方法を提供する。【構成】シリコン系の基板型光導波路7と、石英系の入出力用光ファイバ8と、基板型光導波路7および入出力用光ファイバ8が支持される石英製の台座9とを有して構成され、基板型光導波路7と入出力用光ファイバ8、基板型光導波路7と台座9、入出力用光ファイバ8と台座9のそれぞれが溶着により一体化されている。

請求項（抜粋）：

シリコン系の基板型光導波路と、石英製の入出力用光ファイバと、前記基板型光導波路および前記入出力用光ファイバが支持される石英製の台座とを有してなり、前記基板型光導波路と前記入出力用光ファイバ、前記基板型光導波路と前記台座、前記入出力用光ファイバと前記台座のそれぞれが溶着により一体化されていることを特徴とする基板型光導波路デバイス。

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平1-126608
光結合装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-022932 出願人：住友電気工業株式会社
特開平2-073207

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