特許
J-GLOBAL ID：200903034953281934
クリーンルームの冷却設備および排熱利用設備
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐々木 宗治 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-287928
公開番号（公開出願番号）：特開平7-139761
出願日： 1993年11月17日
公開日（公表日）： 1995年05月30日
要約：
【要約】【目的】 冷却塔を利用してエネルギーを効率的に運用できるクリーンルームの冷却設備を提供する。【構成】 第1の冷却コイル6に切換弁29a,30aを介して連結された冷却塔28と、外気ダクト8に設けられた第2の冷却コイル22およびこの第2の冷却コイル22に連結されるとともに、第1の冷却コイル6に切換弁31a,32aを介して連結された冷凍機27と、クリーンルーム1内に設けられた室内温度検出手段33およびクリーンルーム1外に設けられた外気温度検出手段34とを備え、外気温度検出手段34によって検出した外気温度が室内温度検出手段33によって検出した室内温度より低い場合は冷却塔28を運転させるようにしたものである。
請求項（抜粋）：
外気ダクトから外気を取り入れて第1の冷却コイルとファンとからなる空気循環系によりクリーンルーム内を冷却する設備において、前記第1の冷却コイルに切換弁を介して連結された冷却塔と、前記外気ダクトに設けられた第2の冷却コイルおよび該第2の冷却コイルに連結されるとともに、前記第1の冷却コイルに切換弁を介して連結された冷凍機と、前記クリーンルーム内に設けられた室内温度検出手段およびクリーンルーム外に設けられた外気温度検出手段とを備え、該外気温度検出手段によって検出した外気温度が前記室内温度検出手段によって検出した室内温度より低くなった場合は前記冷却塔を運転させるようにしたことを特徴とするクリーンルームの冷却設備。
IPC (2件)：
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