特許
J-GLOBAL ID：200903034956869991
基板処理装置のスケジュール作成方法及びそのプログラム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-216440
公開番号（公開出願番号）：特開2003-031454
出願日： 2001年07月17日
公開日（公表日）： 2003年01月31日
要約：
【要約】【課題】 処理前に複数のスケジュールを予め作成して複数の等価処理部の使用予定を考慮することにより、ロットの払い出しが確実に早く、スループットを向上させることができる。【解決手段】 各ロットに対する処理を実際に開始するのに先立ち予めスケジュールを作成する際に、あるロットの投入時に、そのレシピに応じて使用可能な全ての等価処理部(純水洗浄処理部21,29、薬液処理部23,31)を使用した複数のスケジュールを作成し、その中で最も早く終了するスケジュールを採用する。複数のスケジュールを比較し、ロットの払い出しが最も早いスケジュールを採用して、等価処理部の使用予定を考慮することにより、ロットの払い出しを確実に早くすることができてスループットを向上させることができる。
請求項（抜粋）：
基板に対して略同じ処理を施すことができる処理部を等価処理部とし、この等価処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理する際に、各ロットが使用する等価処理部を選択する基板処理装置のスケジュール作成方法において、各ロットに対する処理を実際に開始するのに先立ち予めスケジュールを作成する際に、あるロットの投入時に、使用可能な等価処理部を使用した複数のスケジュールを作成し、その中で最も早く終了するスケジュールを採用することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。
IPC (4件)：
H01L 21/02
, B08B 3/04
, G05B 19/418
, H01L 21/304 648
H01L 21/02 Z
, B08B 3/04 Z
, G05B 19/418 Z
, H01L 21/304 648 H
3B201AA01
, 3B201AB13
, 3B201AB44
, 3B201BB92
, 3B201BB93
, 3B201CB11
, 3B201CC11
, 3B201CD43
, 3C100AA05
, 3C100AA16
, 3C100AA63
, 3C100BB13
, 3C100EE06
