特許
J-GLOBAL ID：200903034957536260
光学式研磨量測定装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-067904
公開番号（公開出願番号）：特開平10-260015
出願日： 1997年03月21日
公開日（公表日）： 1998年09月29日
要約：
【要約】【課題】研磨の最中の研磨対象物の研磨量を光学的手法により高精度に測定できて、光学系のあおり角の調整が短時間で行なえる研磨量測定装置を提供する。【解決手段】研磨量測定装置は測定光学系100とモニター用光学部材150を有している。モニター用光学部材150は、ワークを保持するホルダー20に固定され、ワークと等量研磨される。レーザー光源102から射出された光はモニター用光学部材150に入射し、その第一面152と第二面154からの反射光はビームスプリッター182で二つの光束に分割され、一方はこれから干渉光を生成してモニター用光学部材150の研磨量を求める干渉光生成部に入射し、他方はスポット位置検出素子184に入射する。スポット位置検出素子184は受光面に形成されるスポットの位置を示す信号を出力し、スポット位置信号処理部186はこの信号に基づいてスポットの位置を求め、その情報を表示する。
請求項（抜粋）：
研磨手段により研磨されている最中の研磨対象物の研磨量を光学的に測定する光学式研磨量測定装置であり、研磨対象物と同等に研磨されるモニター用光学部材と、モニター用光学部材の研磨量を光学的に測定する測定部とを備えており、モニター用光学部材は互いに平行な端面である第一面と第二面を有し、第二面は研磨手段に接しており、第一面に対する第二面の相対的な位置はモニター用光学部材が研磨されることにより第一面に近づく方向に移動し、測定部は、測定光を射出する光源手段と、測定光をモニター用光学部材を介して研磨手段に照射する手段と、モニター用光学部材の第一面からの反射光と第二面からの反射光を二つの光束に分割する分割素子と、一方の光束を受光して光束の位置を検出する光束位置検出部と、他方の光束を受光して干渉信号を生成する干渉信号生成部とを有し、光束位置検出部は受光する光束の位置を検出し、干渉信号生成部は、第一面からの反射光と第二面からの反射光の干渉に基づいて、モニター用光学部材が研磨されたために生じた第一面に対する第二面の相対的な移動量を測定する、光学式研磨量測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/02 G
, B24B 49/12
