特許
J-GLOBAL ID：200903034958813381
基板処理装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-278714
公開番号（公開出願番号）：特開平11-114474
出願日： 1997年10月13日
公開日（公表日）： 1999年04月27日
要約：
【要約】【課題】 純水と薬液との混合比率が異なる処理液を用いた処理を好適に行う。【解決手段】 純水圧力調節器12により純水供給路11内の純水流量を所定の流量に維持し、その純水内に薬液を直接供給して処理液を調合する。純水供給路11への薬液供給流量は薬液流量調節弁16で任意に調節可能である。コントローラ5は処理条件入力部6から入力された混合条件と薬液流量センサ20からの薬液供給流量現在値Sm1、Sm2とに基づき、フィードバック制御で薬液流量調節弁16の弁の開度を調節し、純水供給路11への薬液供給流量を混合条件に従って調節する。また、コントローラ5は薬液流量調節弁16に対するフィードバック制御を開始した時点から準備時間の間は処理液を排液ドレイン21に流し、準備時間経過時点で処理液をノズル2に流すように切換え弁14を制御する。
請求項（抜粋）：
基板を1枚保持し、純水と薬液とを混合して得られた処理液を前記保持された基板に供給して処理する枚葉式の基板処理装置であって、基板を1枚保持する基板保持手段と、前記基板保持手段に保持された基板に処理液を供給する処理液供給部と、前記処理液供給部と純水供給源との間に接続される純水供給路と、薬液供給源に一端が接続され、他端が前記純水供給路の途中に接続された薬液供給路と、薬液が前記純水供給路に導入される位置よりも上流側の前記純水供給路に配設され、前記純水供給路内の純水流量を予め決められた所定の流量に調節する純水流量調節手段と、前記薬液供給路に配設され、前記薬液供給路から前記純水供給路に供給する薬液供給流量を任意に調節し得る薬液供給流量調節手段と、前記薬液供給路に配設され、前記薬液供給路から前記純水供給路に供給される薬液供給流量現在値を計測する薬液供給流量計測手段と、各基板に供給する処理液を調合する際の純水と薬液との混合条件を入力する混合条件入力手段と、薬液が前記純水供給路に導入される位置よりも下流側の前記純水供給路に配設され、前記純水供給路と前記処理液供給部とを接続する状態と、前記純水供給路と排液ドレインとを接続する状態とに切り換える切換え手段と、入力された混合条件と前記薬液供給流量計測手段で計測される薬液供給流量現在値とに基づき、フィードバック制御で前記薬液供給流量調節手段を制御し、入力された混合条件で純水と薬液とを混合して処理液を得るように薬液供給流量を調節するとともに、前記薬液供給流量調節手段に対するフィードバック制御を開始した時点から所定の準備時間の間は前記純水供給路と排液ドレインとを接続する状態を維持し、前記準備時間が経過した時点で前記純水供給路と前記処理液供給部とを接続する状態に切換え、以後、所定の処理時間の間は前記純水供給路と前記処理液供給部とを接続する状態を維持して、前記処理時間が経過した時点で前記純水供給路と排液ドレインとを接続する状態に切換えるように前記切換え手段を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする基板処理装置。
IPC (5件)：
B05C 11/08
, B05C 11/10
, G03F 7/30 502
, H01L 21/027
, H01L 21/304 341
B05C 11/08
, B05C 11/10
, G03F 7/30 502
, H01L 21/304 341 S
, H01L 21/30 569 C
