収納用治具およびそれを用いた半導体製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：筒井大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-332904
公開番号（公開出願番号）：特開2006-143246
出願日： 2004年11月17日
公開日（公表日）： 2006年06月08日
要約：

【課題】半導体製品の原価の低減化を図る。【解決手段】それぞれに半導体チップを収納可能な複数のポケット部4cが格子状に配列されたトレイ本体部4aを有しており、複数のポケット部4cに、それぞれ異なった開口面積の3種類の凹部が階段状に形成されていることにより、各ポケット部4cにそれぞれ異なった大きさの半導体チップである第1半導体チップ1、第2半導体チップ2および第3半導体チップ3の3種類の大きさの半導体チップを収納することが可能となり、1種類のトレイ4で複数種類のサイズの半導体チップを収納することができるため、トレイ4の種類を減らして半導体製品の原価の低減化を図ることができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

それぞれに半導体チップを収納可能な複数のポケット部を有した収納用治具であって、前記複数のポケット部それぞれに複数種類の大きさの凹部が段差状に形成され、かつ前記段差において下段に向かうにつれて前記凹部の大きさが小さくなるように形成された前記複数のポケット部を有していることを特徴とする収納用治具。

IPC (3件)：

B65D 85/86 , B65D 25/10 , H01L 21/673

FI (3件)：

B65D85/38 J , B65D25/10 , H01L21/68 U

Fターム (42件)：

3E062AA03 , 3E062AB07 , 3E062AB20 , 3E062AC02 , 3E062FA02 , 3E062FB01 , 3E062FC02 , 3E062FC10 , 3E096AA08 , 3E096AA09 , 3E096BA08 , 3E096BA09 , 3E096BA14 , 3E096BB05 , 3E096CA06 , 3E096CB02 , 3E096DA04 , 3E096DA17 , 3E096DA18 , 3E096DB01 , 3E096DB08 , 3E096EA02X , 3E096EA02Y , 3E096FA07 , 3E096FA09 , 3E096FA10 , 3E096FA15 , 3E096FA16 , 3E096FA23 , 3E096FA26 , 3E096FA30 , 3E096FA31 , 3E096GA05 , 3E096GA07 , 3E096GA12 , 5F031CA13 , 5F031DA05 , 5F031EA19 , 5F031FA05 , 5F031FA09 , 5F031FA11 , 5F031PA18

引用特許：

出願人引用 (1件)

キャリアおよび保護シート付トレーならびにトレー
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-002560 出願人：株式会社日立製作所, 日立超エル・エス・アイ・エンジニアリング株式会社

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