コンタクトプローブ部材及びその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤村康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-226254
公開番号（公開出願番号）：特開2003-043066
出願日： 2001年07月26日
公開日（公表日）： 2003年02月13日
要約：

【要約】【課題】伝送線路の終端における反射の問題を解消したコンタクトプローブ部材等を提供する。【解決手段】半導体デバイスにおける各パッドと対応して絶縁性基材上に設けられた複数の電極と、上記絶縁性基材上に設けられ、かつ、前記複数の電極に電気的に接続された複数の伝送線路と、を少なくとも有するコンタクトプローブ部材であって、前記伝送線路の終端からの反射を防止するため、前記伝送線路の終端aに終端抵抗80を設けたことを特徴とするコンタクトプローブ部材。

請求項（抜粋）：

半導体デバイスにおける各電極端子と対応して絶縁性基材上に設けられた複数の電極と、上記絶縁性基材上に設けられ、かつ、前記複数の電極に電気的に接続された複数の伝送線路と、を少なくとも有するコンタクトプローブ部材であって、上記伝送線路の終端からの反射を防止するため、前記伝送線路の終端に終端抵抗を設けたことを特徴とするコンタクトプローブ部材。

IPC (5件)：

G01R 1/067 , G01R 1/073 , G01R 31/26 , G01R 31/28 , H01L 21/66

FI (5件)：

G01R 1/067 D , G01R 1/073 D , G01R 31/26 J , H01L 21/66 B , G01R 31/28 Y

Fターム (38件)：

2G003AA07 , 2G003AB01 , 2G003AC01 , 2G003AG03 , 2G003AH09 , 2G011AA16 , 2G011AA21 , 2G011AB06 , 2G011AB08 , 2G011AB09 , 2G011AC11 , 2G011AC32 , 2G011AC33 , 2G011AE03 , 2G011AE22 , 2G011AF07 , 2G132AA03 , 2G132AA09 , 2G132AA13 , 2G132AB01 , 2G132AB03 , 2G132AE16 , 2G132AE27 , 2G132AE30 , 2G132AF02 , 2G132AL11 , 2G132AL19 , 2G132AL20 , 2G132AL25 , 4M106AA01 , 4M106BA01 , 4M106CA56 , 4M106CA60 , 4M106CA70 , 4M106DD04 , 4M106DD06 , 4M106DD09 , 4M106DD10

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭62-126649
特開平3-095468
ウエハ一括コンタクトボード用多層配線基板及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-355389 出願人：ホーヤ株式会社

全件表示

前のページに戻る