特許
J-GLOBAL ID：200903034962236887
レーザ干渉計
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-236476
公開番号（公開出願番号）：特開平5-071912
出願日： 1991年09月17日
公開日（公表日）： 1993年03月23日
要約：
【要約】【目的】 空気のゆらぎが生じても測定誤差が発生しないようにする。【構成】 固定鏡6から戻って来る参照ビームBrと移動鏡1から戻って来る測長ビームBmとを干渉させて移動鏡1の変位を検出するレーザ干渉計において、移動鏡1側の測長ビームBmの光路中にこのビームBmが通過する中空部3aを密閉した密閉容器3を配置し、その測長ビームBmが通過する大気中の距離を微小且つ略々一定に保つように密閉容器3を移動鏡1の動きに連動して移動する駆動モータ18を設けた。
請求項（抜粋）：
固定鏡から戻って来る参照ビームと移動鏡から戻って来る測長ビームとを干渉させて前記移動鏡の変位を検出するレーザ干渉計において、前記移動鏡側の測長ビームの光路中に該ビームが通過する空間を密閉した密閉容器を配置し、前記測長ビームが通過する大気中の距離を微小且つ略々一定に保つように前記密閉容器を前記移動鏡の動きに連動して移動する駆動手段を設けた事を特徴とするレーザ干渉計。
引用特許：
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