特許
J-GLOBAL ID：200903034964717459
熱式流量センサ
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-112294
公開番号（公開出願番号）：特開平8-285652
出願日： 1995年04月13日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：
【要約】【目的】 測定の安定性を向上させ、計測範囲を広くとることができる熱式流量センサを提供する。【構成】 センサチップ上にヒータを挟んで上流側および下流側に測温抵抗体を配設してガスの流量を測定する構成の熱式流量センサであって、上記センサチップの少なくとも上流側の端部の少なくとも一部を斜面状とした構成となっている。
請求項（抜粋）：
センサチップ上にヒータ、或はヒータと側温抵抗体を配設してガスの流量を測定する熱式流量センサにおいて、上記センサチップの少なくとも上流側の側端部の少なくとも一部を斜面状又は階段状としたことを特徴とする熱式流量センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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