マグネシウム含有蛍石とそれを用いた光学系及び露光装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：福森久夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-066943
公開番号（公開出願番号）：特開平9-255329
出願日： 1996年03月22日
公開日（公表日）： 1997年09月30日
要約：

【要約】【課題】短波長で高出力の光を長期間繰り返し照射した場合であっても、透過率特性が劣化し難い蛍石、それよりなる光学系及び該光学系を用いたフォトリソグラフィー用の露光装置を提供すること。【解決手段】 Mgを含む蛍石であって、Mgの含有量が1ppm以上10ppm以下であることを特徴とする蛍石。Mgを含む蛍石であって、Mgの含有量が1ppm以上10ppm以下である蛍石からなるエキシマレーザー用の光学系。Mgを含む蛍石であって、Mgの含有量が1ppm以上10ppm以下以下である蛍石からなるレンズを有する光学系と、露光される基板を保持するステージとを備えたことを特徴とするフォトリソグラフィー用の露光装置。

請求項（抜粋）：

マグネシウムを含む蛍石であって、マグネシウムの含有量が1ppm以上10ppm以下であることを特徴とする蛍石。

IPC (5件)：

C01F 11/22 , C30B 29/12 , G02B 1/00 , G03F 7/20 505 , H01S 3/00

FI (5件)：

C01F 11/22 , C30B 29/12 , G02B 1/00 , G03F 7/20 505 , H01S 3/00 Z

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開平4-349199
特開昭63-225590
透過率測定サンプル及びその作製方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-215096 出願人：株式会社ニコン

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