特許
J-GLOBAL ID：200903034967017172
マルチビーム露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
中島 淳
, 加藤 和詳
, 西元 勝一
, 福田 浩志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-007638
公開番号（公開出願番号）：特開2005-202095
出願日： 2004年01月15日
公開日（公表日）： 2005年07月28日
要約：
【課題】 複数の画素を選択的にon/offする手段側から出射された各ビームと、これらに各々対応する光学素子との位置ずれを検出し、修正可能としたマルチビーム露光装置を提供する。【解決手段】 複数の画素を選択的にon/offする手段36から出射された各光ビームに1対1で対応する各マイクロレンズ60を有するマイクロレンズアレイ54を微小移動調整手段66X、66Yで2次元的に位置調整可能に支持する。一つの特定画素をonとしたときの光ビームがマイクロレンズ60を通して露光面上に照射されているときに、位置ずれ検出手段で検出した特定画素の位置と、特定画素の周囲にある光ビームの回り込み画素の位置の情報とから、制御手段28が、相対的な位置のずれ量を演算し、その演算結果に基づいて微小移動調整手段66X、66Yを駆動制御し、一つの特定画素の光ビームと対応するマイクロレンズ60との相対的な位置のずれをなくすよう移動調整する。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
複数の画素を選択的にon/offする手段を有する露光ヘッドを備えたマルチビーム露光装置において、
前記複数の画素を選択的にon/offする手段から出射された各光ビームに1対1で対応する各マイクロレンズを有するマイクロレンズアレイと、
前記マイクロレンズアレイを前記光ビームの光軸に交わる方向に対して2次元的に位置調整可能に支持する微小移動調整手段と、
前記複数の画素を選択的にon/offする手段における一つの特定画素をonとしたときの前記光ビームが前記マイクロレンズを通して露光面上に照射されているときに、少なくとも前記特定画素の位置の情報と、前記特定画素の周囲にある前記光ビームの回り込み画素の位置の情報と、を検出する位置ずれ検出手段と、
前記位置ずれ検出手段で検出された、少なくとも前記特定画素の位置の情報と前記光ビームの回り込み画素の位置の情報とから、前記複数の画素を選択的にon/offする手段から出射した前記一つの特定画素の前記光ビームと対応する前記マイクロレンズとの相対的な位置のずれ方向を演算し、その演算結果に基づいて前記一つの特定画素の前記光ビームと対応する前記マイクロレンズとの相対的な位置のずれをなくすように前記微小移動調整手段を駆動制御する制御手段と、
を有することを特徴とするマルチビーム露光装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F7/20 505
, G02B26/08 E
2H041AA16
, 2H041AB14
, 2H041AC06
, 2H041AZ01
, 2H097AA03
, 2H097AB05
, 2H097CA03
, 2H097CA06
, 2H097CA17
